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智能程控勻膠機有哪些規(guī)格
智能化設計、高配置、高穩(wěn)定性機型。
PC控制系統(tǒng)，更好的可操控性可編程設計。
5“人機界面，全中文操作系統(tǒng)，更方便操作。
適合多種材料勻膠、制版工藝。
廣泛應用于微電子、光電子、通訊、微機械、材料科學及新能源等領域
采用無刷伺服電機，全閉環(huán)數(shù)字編碼器測速機構(gòu)，實測整個過程馬達速度。 機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、不生銹，便于清洗。
排風和抽氣系統(tǒng)位于載片臺底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。透明可視密封蓋可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
配有真空泵電源輸出接口與抽氣接口，由界面集中控制。
旋涂程序：用戶可通過PC界面設置和存儲工藝參數(shù)，可存儲15組參數(shù)，支持多段速。
轉(zhuǎn)動速度：0-5,000rpm
旋涂加速度：0-5000rpm/sec，加、減速時間可自由設置（0-20000ms）
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 ±1rpm
測速精度<0.2rpm
工藝時間設定： 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度
可鍍膜尺寸5mm-200mm(8〞) （標配1-2英寸）
旋涂作業(yè)均勻性：< ±3%
支持基片厚度≤5mm
勻膠腔室內(nèi)徑：Ф260mm ，不銹鋼材質(zhì)、可視透明上蓋
抽氣接口: Ф8mm快速接頭，配Ф8mm透明抽氣管
樣片托：根據(jù)實際尺寸定制。
真空泵：配100L/min無油真空泵一臺
電源輸入： AC220V/240V 50HZ
整機功率：630W （真空泵230W 主機400W）
機身重量：11Kg
真空泵重：6.0Kg
設備尺寸：280×360×240mm
